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石英坩埚的性能及使用

- 2019-12-18-

  石英坩埚可在1450度以下使用,分通明和不通明两种。用电弧法制的半通明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,开展大规模集成电路必不可少的根底材料。当今,世界半导体工业发达国jia已用此坩埚取代了小的通明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺度大精度高、保温性好、节约能源、质量安稳等长处。

  石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺度大精度高、保温性好、节约能源、质量安稳等长处,使用越来越广泛。石英坩埚分为方形、圆形两大类:圆形的石英坩埚是用在单晶炉里拉制单晶硅的;方形的石英坩埚是用在多晶硅铸锭中的。

  石英坩埚的功能主要有热学功能和结晶功能。热功能是指它的热膨胀数低,所以具有非常好的抗热振功能。析晶是石英坩埚的高温下分出二氧化硅结晶的过程,也是晶体生长工艺中较忌讳的物理现象。石英坩埚的高纯性对晶体的物理参数及非平衡少量载流子寿数影响极大。

  石英坩埚在使用过程中需要留意的事项如下:

  石英坩埚主要化学成分是二氧化硅,除氢氟酸外不与其它酸效果,易与苛性碱及碱金属碳酸盐效果。

  石英坩埚对热的安稳性很好,可直接放在火焰上加热。

  石英坩埚和玻璃器皿相同,简单破碎,使用时要特别当心。

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